形成环形等离子体对光谱分析极为有利。中心注射管以一定速度引入样品粒子，使其有效地“穿透”等离子底部。环形等离子中心为中空隧道，有利于气溶胶粒子传输，极大地降低了趋肤效应造成的偏离现象。

此种样品引入方式极大地提高了等离子分析灵敏度。每路气流量对等离子形成影响重大，进而影响等离子温度及电离效率。虽然三路气的绝对流量大小对重现等离子性质极为重要，为保持等离子稳定性需精确控制三路气流量。

气体流量大小通常使用灵敏器件如质量流量控制器来控制。质量流量控制器利用气路中流量传感器，经电子路反馈后控制流量大小。流量器对气体流量的监控与其他因素无关，如所使用气体的纯度及反向压力。虽然理想情况下要求使用质量流量器控制所有气体流量，以确保分析精度，实际使用中应严格控制载气流量(载气流量大小对分析性能影响最大)。综合考虑各种因素，商用仪器只对载气流量进行监控。