ICP-MS分析含有机基质的样品时，通常引入氧气。有机基质的存在，增大了蒸气压，降低表面张力，使雾化室到等离子体之间传输效率增大，通常在等离子体谱图中形成干扰峰。研究人员已采用各种方法减少溶剂负载，例如采用去溶装置，以减缓因吸入溶剂而使等离子m/z 75处(40Ar37Cl+对应质荷比m/z 77)的信号降低时，质荷比m/z 49及51处(分别由35Cl14N+及37Cl14N+造成)信号相应增大。

似乎存在某种优先竞争反应，即与Ar相比，N优先与Cl反应。氮气的引入对等离子体物理及电性质具有重要影响。若在雾化气中加入，则等离子环面明显增大。此外，雾化气中加入氮气后，使电子温度降低3000～5000K，同时气体动力学温度小幅降低，但仍足够明显。因此，虽然在雾化气中加入氮气能明显降低干扰，但同时也造成灵敏度下降[4]。但是，此时并未严重影响大部分样品分析。一些研究人员在冷却气中加入氮气，报道称信号抑制有限，扁平线圈电感且某些元素的灵敏度实际上提高了一些[5]。

Uchida及Ito报道了以氮气为主(即冷却气中只加入少量氩气)的等离子体中相关情况[6]，报道称此种等离子体降低了氩相关离子干扰，因此大电流电感能进行As及Se的测定，但增加了氮相关离子干扰。此外，第一电离能小于6.5eV的元素灵敏度增加，而第一电离能大于6.5eV的元素灵敏度下降。