不论采用哪种进样方法，最终的目的是在质谱仪入口处形成离子，即通过上述的样品引入过程，电感将载流中分散很细的固体颗粒汽化、原子化并电离。不过，在这三类样品引入方式中，目前最常用的还是溶液气动雾化进样系统，大多数ICP-MS系统都将气动雾化器作为标准配件。

气溶胶的产生

 液态样品引入系统的最主要的功能使样品形成良好的气溶胶。通常使用蠕动泵，利用蠕动泵滚筒均匀转动，扁平线圈以1mL·min-1的速率将溶液引入雾化器。这种均匀转动及滚筒压力，使样品流速一致，消除样品溶液、标准溶液及空白之间的黏度差异；另外，采用泵提升样品限制了空气的引入，减小了造成等离子体不稳定的因素。

样品进入雾化器后，在高速气流的切割下，被“破碎”成雾滴细小的气溶胶。此外，大功率电感也可利用文丘里效应(Venturi effect)造成的负压自动提升样品溶液。