混合气体等离子体 虽然目前所用的ICP主要采用氩气，引入其他种类气体对实际测试可达到非常有用的效果。Fassel型炬管不适合用于引入其他种类气体，即便在较低浓度范围内，也会使等离子体熄灭。等离子火焰是否容易熄灭取决于仪器RF调谐电路的设计。逐步增加引入气体流量可避免等离子火焰熄灭。一些仪器采用另一种气体引入方式，同时利用另一个质量流量计，确保引入的气体流量准确。此外，也可使用气体混匀器。

ICP-MS中可以使用氮气以减少干扰。可以在冷却气中加入[2]或雾化气中加入[3]氮气，减少各种干扰，如40Ar35Cl+对75As+及氧化物干扰。若在冷却气中加入氮气，则需提高氮气所占体积分数(5%～10%)，才能获得良好效果，即在冷却气中加入氮气效果不如在雾化气中加入氮气。在雾化气中加入氮气，研究表明体积分数为4.5%时，即可有效消除1%氯离子干扰。

此时干扰消除机制仍无法确定，但可以通过观察质谱谱图来讨论相应机制。40Ar35Cl+造成质荷比m/z 75处(40Ar37Cl+对应质荷比m/z 77)的信号降低时，质荷比m/z 49及51处(分别由35Cl14N+及37Cl14N+造成)信号相应增大。似乎存在某种优先竞争反应，即与Ar相比，N优先与Cl反应。氮气的引入对等离子体物理及电性质具有重要影响。若在雾化气中加入，则等离子环面明显增大。

此外，雾化气中加入氮气后，使电子温度降低3000～5000K，RSAL1580-2R0M同时气体动力学温度小幅降低，但仍足够明显。因此，虽然在雾化气中加入氮气能明显降低干扰，但同时也造成灵敏度下降[4]。但是，此时并未严重影响大部分样品分析。一些研究人员在冷却气中加入氮气，报道称信号抑制有限，且某些元素的灵敏度实际上提高了一些[5]。Uchida及Ito报道了以氮气为主(即冷却气中只加入少量氩气)的等离子体中相关情况[6]，报道称此种等离子体降低了氩相关离子干扰，因此能进行As及Se的测定，但增加了氮相关离子干扰。此外，第一电离能小于6.5eV的元素灵敏度增加，而第一电离能大于6.5eV的元素灵敏度下降。