滨松MEMS-FTIR把一个迈克逊干涉仪以及一个控制移动镜面的触动器高度紧密地集成在了一个硅晶片级别的封装中，一条接受入射光的光纤直接通过被动对准连接到MEMS芯片上，这样大幅的降低了组装成本。而通过DRIE（深反应离子刻蚀），MEMS-FTIR驱动元件的每个光学组件的相对位置十分精确，公差不大于1μm，组装后无需进行任何的光学调整。
滨松MEMS-FTIR 光谱仪C12606以及驱动原件内部构造
迈克逊干涉仪的所有光学组件都在硅制造的壁面上形成。分束器通过利用硅与空气之间折射率的巨大差异，将入射光束按照菲涅尔反射（反射30%；透射70%）分割。移动镜面放置在静电驱动器和固定镜面上，其每个表面都通过蒸镀形成金属层，这形成了具有高反射率（高于98%）的全反射镜面。
迈克逊干涉仪SEM图像
----------------------------------------------------------
本文选自4月份《智能硬件特刊》，更多技术热文可进入特刊详情页面下载浏览！
12下一页全文本文导航第 1 页：克服多重技术障碍 成就“指尖”上的FTIR光谱仪第 2 页：更好、更便捷、更广阔的应用扁平线圈电感制造厂
VK3X多总线UART在嵌入式手持设备中扩展串口及Li摘要： 本文介绍了一种基于VK3X芯片实现嵌入式手持设备扩展串口的设计方案，并给出了嵌Linux下驱动设计的方法和编程参考。 关键字： 嵌入式手持设备VK3XUART串口扩展Linux驱动 随着嵌入式
集成电路代换技巧集成电路代换技巧
基于ZigBee无线传感网络的语音会议系统设计 本方案设计了一种基于ZigBee传输的无线传感网络结构的语音会议系统。每个话筒作为无线传感网络的一个节点，所有话筒组成一个无线传感网络。话筒的声音数据通过ZigBee传